針對(duì)微傳感器技術(shù)發(fā)展速度快,一些理論、方法及實(shí)現(xiàn)技術(shù)尚未成熟的特點(diǎn),本書(shū)緊密結(jié)合微傳感器的最新發(fā)展動(dòng)態(tài),對(duì)熱、輻射、機(jī)械、磁、化學(xué)量微傳感器的基本理論及實(shí)現(xiàn)技術(shù)進(jìn)行分類(lèi)闡述,同時(shí)介紹了微傳感器系統(tǒng)及其數(shù)據(jù)獲取與處理方面的知識(shí),旨在為讀者提供一本微傳感器方面的入門(mén)讀物。本書(shū)幫助讀者在掌握微傳感器基礎(chǔ)知識(shí)的基礎(chǔ)上,建立微傳感器設(shè)計(jì)、研究、制作及實(shí)驗(yàn)分析等方面的基本概念。當(dāng)遇到具體的微傳感器問(wèn)題時(shí),能查到專(zhuān)業(yè)文獻(xiàn),能讀懂文獻(xiàn)內(nèi)容,能自行設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn),能對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析總結(jié)。
微型傳感器是目前為止成功并具實(shí)用性的微型機(jī)電器件,主要包括利用微型膜片的機(jī)械形變產(chǎn)生電信號(hào)輸出的微型壓力傳感器和微型加速度傳感器;此外,還有微型溫度傳感器、磁場(chǎng)傳感器、氣體傳感器等,這些微型傳感器的面積大多在1 mm2以下。
隨著微電子加工技術(shù),特別是納米加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,傳感器技術(shù)還將從微型傳感器進(jìn)化到納米傳感器。這些微型傳感器體積小,可實(shí)現(xiàn)許多全新的功能,便于大批量和高精度生產(chǎn),單件成本低,易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列,這些特點(diǎn)使得它們非常適合于汽車(chē)方面的應(yīng)用。
汽車(chē)用傳感器是用于汽車(chē)顯示和電控系統(tǒng)的各種傳感器的統(tǒng)稱(chēng)。它涉及到很多的物理量傳感器和化學(xué)量傳感器。這些傳感器要么是使司機(jī)了解汽車(chē)各部分狀態(tài)的;要么是用于控制汽車(chē)各部分狀態(tài)的。
汽車(chē)用溫度傳感器主要用于檢測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)溫度、吸人氣體溫度、冷卻水溫度、燃油溫度以及催化溫度等。溫度傳感器有熱敏電阻式、線(xiàn)繞電阻式和熱偶電阻式三種主要類(lèi)型。這三種類(lèi)型傳感器各有特點(diǎn),其應(yīng)用場(chǎng)合也略有區(qū)別。熱敏電阻式溫度傳感器靈敏度高、響應(yīng)特性較好,但線(xiàn)性差、適應(yīng)溫度較低。
其中,通用型的測(cè)溫范圍為-50℃~30℃,精度為1.5%,響應(yīng)時(shí)間為10 ms;高溫型為600℃~1000℃,精度為5%,響應(yīng)時(shí)間為10ms;線(xiàn)繞電阻式溫度傳感器的精度高,但響應(yīng)特性差;熱偶電阻式溫度傳感器的精度高,測(cè)量溫度范圍寬,但需要配合放大器和冷端處理一起使用。其他已實(shí)用化的產(chǎn)品有鐵氧體式溫度傳感器(測(cè)溫范圍為-40℃~120℃,精度為2.0%)、金屬或半導(dǎo)體膜空氣溫度傳感器(測(cè)溫范圍為-40℃~150℃,精度為2.0%,5%,響應(yīng)時(shí)間約20 ms)等。